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Plateforme CERTeM R&D

La plateforme CERTeM R&D est une salle blanche (ISO 5) de 400m2 composée d'équipements pour la fabrication de composants de l'échantillon à la plaquette de 8 pouces.
 
     

PHOTOLITHOGRAPHIE

Application de la résine photosensible
  • Equipements d’enduction de résine manuelle et automatisée
  • Equipement de dépôt résine par spray
  • Lamineuse pour film sec photosensible
Exposition
  • Equipement d'insolation et d'alignement double face par masque pour plaquettes
  • Equipement de micro-usinage de polymères par photo ablation laser
Développement et retrait résine
  • Développeurs de résine par spray aqueux et solvant
  • Développeur de résine par puddle
  • Equipement de retrait résine par plasma O2

DEPOT

  • Ablateur laser pour dépôt de couches minces
  • Equipement de dépôt métallique par évaporation sous vide avec lift-off
  • Equipements de dépôt métallique par pulvérisation cathodique – PVD sputtering (Physical Vapor Deposition) - de T° ambiante à 700°C
  • Equipement de dépôt de diélectrique assisté par plasma - PECVD (Plasma Enhancend Chemical Vapor Deposition)
  • Equipement de dépôt basse température de diélectrique assisté par plasma LT-PECVD (Low Temperature PECVD)
  • Equipement de dépôt basse pression - LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) SiN et SiPoly dopé

CHIMIE

  • Hotte de gravure métal et oxyde
  • Hotte H3PO4
  • Hotte solvants
  • Hotte pour l'anodisation du silicium
  • Equipement de polissage mécano-chimique

GRAVURE

  • Equipement de gravure ionique IBE (Ion Beam Etching)
  • Equipements de gravure ionique réactive - RIE/ICP (Reactive Ion Etching/Inductively Coupled Plasma)

CARACTERISATION

  • Ellipsomètre spectroscopique
  • Profilomètre mécanique de table
  • Spectromètre de masse
  • Microscope numérique
  • Microscope d'inspection

SOUDURE

  • Equipement de collage de plaquette semi-automatisé 
  • Equipement de décollement de plaquette