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Version française > Plateformes techniques > Plateforme de caractérisation

Plateforme de caractérisation

 
 

  • Microscope électronique à balayage – SEM (Scanning Electron Microscopy) / EDX (Energy Dispersive X-ray spectrometry)

  • Microscope électronique double faisceau - FIB (Focused Ion Beam) / STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy)  / EDX (Energy Dispersive X-ray spectrometry)

  • Microscopes optiques

 
 

  • Microscope à force atomique – AFM (Atomic Force Microscopy) en mode tapping et modes électriques 
  • Diffractomètres à rayon X
  • Appareil de mesure effet HALL
  • Spectromètre FTIR (Fourier Transform InfraRed spectroscopy)
  • Mercury probe
  • Mesure 4 pointes – mesure de la résistivité
  • Mesure de la tension superficielle par angle de goutte
  • Granulomètre
  • Profilomètre optique
  • Vibromètre laser à effet Doppler

 
 

  • Station sous pointe - mesures I(V), C(V), impédance, tests destructifs CVS/LRVS (Linear Ramped Voltage Stress), RF 

  • Testeur ESD (ElectroStatic Discharge)

  • Spectroscopie des niveaux profonds - DLTS  (Deep Level Transient Spectroscopy)

  • Station sous pointe cryogénique


 


  • Four à recuit rapide (RTA)

  • Four de diffusion et recuit META

 


  • Hotte solvant - Lay Concept

  • Hotte de gravure électrochimique SiPoreux

  • Hotte de gravure

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