Le projet SuSCrypp consiste à élaborer des surfaces de silicium nanostructurées pour la réalisation de micro-dispositifs à forte capacitance. Pour réaliser ces nanostructures, des masques en film mince de polymères sont élaborés pour effectuer des gravures localisées par plasma cryogénique. Ce procédé, dit STiGer, se déroule à -100°C et utilise l'oxygène comme gaz de protection, permettant ainsi d'obtenir une gravure de qualité des nanomotifs sur la surface de silicium.


Porteur de projet

Partenaires CERTeM