Plateforme de caractérisation

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Caractérisation physique

  • Diffractomètres à rayon X
  • Appareil de mesure effet HALL
  • Spectromètre FTIR (Fourier Transform InfraRed spectroscopy)
  • Mesure 4 pointes – mesure de la résistivité
  • Granulomètre
  • Vibromètre laser à effet Doppler

Microscopie

  • Microscope électronique à balayage – SEM (Scanning Electron Microscopy) / EDX (Energy Dispersive X-ray spectrometry)
  • Microscope électronique double faisceau - FIB (Focused Ion Beam) / STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy)  / EDX (Energy Dispersive X-ray spectrometry)
  • Microscope à force atomique (AFM) en mode tapping et modes électriques

Caractérisation électrique

  • Station sous pointe - mesures I(V), C(V), impédance, tests destructifs CVS/LRVS (Linear Ramped Voltage Stress), RF 
  • Testeur ESD (ElectroStatic Discharge)
  • Spectroscopie des niveaux profonds - DLTS  (Deep Level Transient Spectroscopy)
  • Station sous pointe cryogénique
  • Banc de test sur plaquettes
  • Analyseur de semi-conducteur capacimètre haute tension
  • Système de caractérisation TLP (Transmission Line Pulse)