Photolithographie

Plateforme CERTeM R&D

• Equipements d’enduction de résine manuelle et automatisée
• Equipement de dépôt résine par spray
• Lamineuse pour film sec photosensible

• Equipement d'insolation et d'alignement double face par masque pour plaquettes 
• Equipement de micro-usinage de polymères par photo ablation laser

• Développeurs aqueux et solvant
• Développeur de résine par puddle
• Equipement de retrait résine par plasma O2

Plateforme CERTeM +

• Equipement de lithographie à faisceaux d'électrons (E-beam)