Partager
L'objectif du projet SiP&MUT est de développer une filière pré-industrielle de petites séries de sondes cMUTs sur substrat de silicium poreux (SiP), seul matériau de la microélectronique capable d'isoler acoustiquement et électriquement les éléments entre eux. Le projet SiP&MUT s'inscrit dans la continuité du projet Mat&MUT visant à convecoir des transducteurs capacitifs micro-usinés (cMUTs) à partir d'un procédé basse température.
 

Porteur de projet


Partenaires CERTeM
  

Partenaires hors CERTeM