Accès direct au contenu


Recherche

Séminaire scientifique CERTeM
Les procédés de dépôt

le 1 juin 2017

Le CERTeM organise son prochain séminaire scientifique le jeudi 1er juin de 14h à 16h au laboratoire GREMI d'Orléans. Ouvert à tous sur inscription, ce séminaire portera sur les procédés de dépôt.

irlynx-imprimante-jet-d'encre

Le prochain séminaire scientifique du CERTeM (Centre d'études et de recherches technologiques en microélectronique) portera sur les procédés de dépôt et se déroulera : 
Jeudi 1er juin
14h00 à 16h00
Laboratoire GREMI
14 rue d’Issoudun - 45000 Orléans
 
Ce séminaire est ouvert à tous sur inscription, via ce formulaire.

Programme

  • Pulvérisation magnétron : principe et nouvelles tendances (HiPIMS and HiTeMS GREMI (université d'Orléans / CNRS) - Amael CAILLARD

Le dépôt de couches minces par pulvérisation magnétron s’est démocratisé dans l’industrie depuis les années 80, mais reste encore aujourd’hui sujet à de nombreux développements et recherches. Cet exposé présentera le principe de la pulvérisation magnétron ainsi que des développements récents concernant la pulvérisation magnétron haute puissance pulsée (High Power Impulse Magnetron Sputtering) et la pulvérisation à haute température (High Temperature Magnetron Sputtering).

  • Formulation et procédé de dépôts d’encres de carbone pour l’élaboration de capteurs électrochimiques ICMN (université d'Orléans / CNRS) - Christine VAUTRIN - UL
La sérigraphie est une méthode de dépôts permettant de reproduire un motif en série utilisée dans de nombreux domaines comme l’industrie textile ou la microélectronique. Au sein du laboratoire ICMN, cette voie est utilisée pour fabriquer des électrodes de carbone conductrices, intégrées ensuite à des dispositifs capteurs dédiés à la détection de micropolluants dans les eaux. Ces capteurs, pour être sensibles et sélectifs, doivent être fonctionnalisés par des nanocouches présentant une affinité pour le polluant cible. Cette fonctionnalisation est réalisée par voie électrochimique : électrogreffage de diazonium ou d’amines, électropolymérisation de polymères à empreintes moléculaires.... La présentation portera sur la fabrication des électrodes et les différentes stratégies de fonctionnalisation développées en fonction de la nature du micropolluant visé.
 
  • Impression jet d’encre : des électrodes innovantes aux nouveaux capteurs environnementaux GREMI (université d'Orléans / CNRS) - Arnaud STOLZ

L’utilisation de matériaux sensibles comme les nanotubes de carbone peuvent conduire à des limitations, telles que la température et la fragilité, lors des procédés de fabrication de capteurs pour la métrologie environnementale. Ces limitations demandent parfois la remise en cause des procédés pour la réalisation d’électrodes permettant de réaliser l’interfaçage avec le monde extérieur.
Dans le cadre du projet IMERSYOM (Impression de Matériaux en Encres pour la Réalisation de SYstèmes Optiques et Microcapteurs), financé par la Région Centre-Val de Loire et porté par le laboratoire GREMI en collaboration avec les laboratoires GREMAN, ICMN et la société Orléanaise Géo-Hyd, des procédés d’impression jet d’encre de matériaux connus (conducteurs à base d’argent) et de nouveaux matériaux (oxydes) sont mis en oeuvre dans le but de réaliser des capteurs à bas-coût de fabrication mais avec des performances suffisantes pour réaliser de la métrologie environnementale à large échelle.
Ce projet s’articule autour du développement d’encres composées de microparticules oxydes : fabrication et caractérisation de poudres d’oxydes fonctionnalisés, formulation des encres d’oxydes et procédé d’impression, caractérisation et fonctionnalisation des encres imprimées pour en faire des capteurs.
La présentation traitera des tous premiers résultats obtenus dans le cadre du projet avec la réalisation de pistes métalliques, de lignes d’isolation oxyde et de l’avancée dans la réalisation d’encres home-made à base de flocons de ZnO.

  • Dépôt par jet d’encre d’une couche polymère fonctionelle sur wafer CMOS Irlynx - Emilie BAHETTE

  • Dépôts de couches atomiques (ALD) : du précurseur moléculaire à l’élaboration de la couche mince SIMaP (université Grenoble Alpes) - Arnaud MANTOUX
Le dépôt de couches atomiques est en pleine expansion depuis la fin du XXème siècle et dans de nombreux secteurs d’activité comme le photovoltaïque, la microélectronique et plus récemment la protection des matériaux d’électrode dans les batteries [1]. La présentation présentera la technique ALD depuis la sélection des précurseurs, c’est-à-dire l’étude de leur propriétés chimiques et thermodynamiques, jusqu’à l’élaboration de films minces proprement dite. [1] R. Puurunen Chem. Vap. Deposition 2014, 20, 332–344

Contact : arnaud.mantoux@univ-grenoble-alpes.fr

 

 

 

 
  • Facebook
  • twitter
  • google
  • imprimer
  • version PDF
  • Envoyer cette page

Recherche d'une actualité

Recherche d'une actualité

Retour au site institutionnel